東京威力科創曝2最新技術　現身半導體展！總裁張天豪談AI時代設備趨勢

記者王翊綺／台北報導

▲東京威力科創（TEL）於國際半導體展，講述AI大數據時代半導體設備製造業最新趨勢。（圖／記者王翊綺攝影）

國際半導體展（SEMICON Taiwan 2023）今（6）日起於南港展覽館登場，全球半導體製造設備商大廠東京威力科創（TEL）總裁張天豪指出，預期2030年半導體產業市場達到1兆美元，與現今相比幾乎翻倍，同時曝光TEL半導體設備最新技術，包括極低溫蝕刻技術以及雷射晶邊修整系統（UlucusTM L）。

張天豪談及半導體應用面，最近很熱門的是AI（人工智慧），尤其是生成式AI，短時間就達一億用戶量的爆發式成長，自動駕駛也被推上風口浪尖，「過去在車廠很重要的是引擎部門，未來可能是軟體部門，不只是電池和馬達，而是智慧移動的空間」，在這之間，最重要的就是半導體AI晶片。

▲東京威力科創（TEL）總裁張天豪說明TEL最新技術。（圖／記者王翊綺攝影）

張天豪表示大家常提到的EUV曝光機，過程還有塗布顯影設備，TEL於此有將近100%市占率，也有很多全球獨一無二的技術。他提到，首先是極低溫蝕刻技術，能利用極低的溫度，提高高深寬比蝕刻的速度及精確度；以及雷射晶邊修整系統，大量減少純淨水的使用及粉塵、廢水的排放達70%，｢以技術端來觸發經濟成長，這是我們的責任」。

談及在台發展，張天豪說明東京威力科創自1996年起來台27年，於新竹科學園區設立總部，並於北中南各地設置辦公室，2年前不受疫情影響，在新竹設立「台灣訓練中心」，投入最新設備、引進最先進技術，至今結合線上及線下已累積5000多名工程師受訓，預計在2024年底也將啟用「台南營運中心」，而目前TEL台灣員工約1600多人，完工後預估可望達到2000人。

此外，TEL集團總裁暨執行長河合利樹今年也特別來台，於大師論壇分享有關半導體創新及世界的共享價值：「半導體產業的市場在2022年來到5740億美元，我們預期在2030年更將幾乎翻倍，超過1兆美元的市場價值；但人們也擔心將帶來巨大的能源消耗。因此Green x Digital正是我們所需要的。做為全球領先的半導體製造設備商，我們認為數位化和脫碳應該成為世界的共享價值觀。」
 
東京威力科創承襲TEL集團，恰逢成立60周年，實踐數位化和脫碳並行的理念，致力於永續措施，實現2050年淨零碳排的目標。TEL將繼續秉持Best Products和Best Technical Service的高標準，和客戶一起追求半導體技術創新，共同實現數位化以及脫碳。