2023 SEMICON TAIWAN 國際半導體展登場！經濟部發表52項前瞻技術

記者鍾至瑋、虞淳雅／台北報導

半導體展盛大登場，經濟部技術處打造了「科技專案成果主題館」，展出許多半導體創新技術的產業化成果，包含了工研院6個單位所研發的最新科技，可說是獨步全球，持續助攻台灣半導體產業，站穩國際地位。

主持人：「科技矽島，躍進全球！」

貴賓齊聚為經濟部科技專案成果主題館揭幕，展出52項前贍創新技術，其中一大亮點就是這台，與半導體設備專業廠商共同研發出的的複合式原子層鍍膜設備，專攻兩奈米以下半導體鍍膜製程，更是全球首創。

半導體設備企業董事長王春暉：「這個是有科技界素稱奧斯卡獎項（R&D100）的特殊殊榮，（因為有）特殊的專利，所以可以把我們的技術再領先現在的設備大廠，也能夠讓我們的客戶更節省整個製程的時間。」

工研院機械所副所長楊秉祥：「我們透過工研院的模擬技術，然後加上設計，我們把這個多道的製程合併成一道。那所以就可以讓你在過程中可以做得比較快，所以減少汙染的機會。」

科技專案成果主題館，展出半導體創新技術的產業化成果，包含許多獨步的全球科技。

經濟部技術處處長邱求慧：「我們這次也發表了一個世界領先的相變化水冷的技術，這次我們是直接在晶片上面去做散熱的技術，它已經達到全世界最高的千瓦級的散熱的技術水準，比現有的外界的散熱技術超過一倍以上。」

經濟部技術處暨工研院攜手台灣廠商，持續助攻台灣半導體產業領航國際。