半導體設備禁令擴大！　ASML證實：這幾款曝光機不能賣中國

財經中心／綜合報導

▲荷蘭擴大對中國半導體設備出口禁令。（示意圖／翻攝自Pixabay圖庫）

荷蘭為遏止中國研發14奈米以下先進製程晶片，擴大售中半導體設備出口禁令。荷蘭半導體設備巨擘艾斯摩爾（ASML）證實，今年起NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i 三個型號，及後續推出的關鍵浸潤式微影設備，都無法取得出口許可。同時，少部分中國晶圓廠也無法取得NXT:1970i和NXT:1980i兩個型號曝光機。這意味部分中國晶圓廠，只能從ASML買到2013年首次出貨的NXT:1965Ci型號曝光機，落後最先進的DUV曝光機NXT:2100i 五代。

中國為因應晶片禁令，趕在限制措施實施前瘋狂採購半導體設備。根據市場調查數據，中國在2023年採購ASML曝光機已超過300台，是2022年的3倍。初估2023年中國向ASML購買曝光機金額，介於80億美元至100億美元之間，年增3.2倍。

中國瘋狂掃貨迫使美國及荷蘭政府出手補漏洞，ASML本應在今年向中國交付3台曝光機，出口許可在今年1月初被吊銷，持續圍堵中國半導體。

據了解，艾斯摩爾在24日舉行年度會議上，財務長Roger Dassen證實，已和荷蘭政府進行確認，2024年起ASML向中國出貨的NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三個型號及後續推出的關鍵浸潤式微影設備，都不會取得荷蘭政府許可。

少部分中國晶圓廠也無法取得NXT:1970i和NXT:1980i兩個型號曝光機的出口許可。據悉，ASML先前僅提及，NXT:1980i無法出口給部分中國晶圓廠，而NXT :1970i無法出口給中國是首次公開提出。

據中媒財新報導，NXT:1970i首次出貨的時間是2013年，是2016年首次出貨的NXT:1980i的上一代產品，這項禁令意味著，部分中國晶圓廠只能從ASML購得2013年首次出貨的NXT:1965Ci型號曝光機，落後目前最先進的DUV曝光機NXT:2100i五代。