圖、文／鏡週刊
▲蘋果（Apple）等科技巨擘要求供應鏈針對環保應該有更積極的作為，因而衍生出廢液回收等新綠色商機。（圖／蘋果提供）
分析師指出，蘋果（Apple）等科技大廠積極打造綠色供應鏈以達碳中和，身為晶片代工龍頭的台積電也透過淨零液體排放目標朝綠色製程開發新解方，正衍生製程機能水系統、製程特殊廢液處理、再生水處理等新業態，是未來具潛力的新綠色商機。
「半導體濕製程需要的化學品上百種，其中液體高達9成，像是顯影劑用的四甲基氫氧化銨（TMAH）等有機溶劑，可透過回收技術（蒸餾）與特殊回收設備處理，且在達到一定純度後進行轉售。隨著碳稅正式上路，也增強業者投資回收技術與設備的誘因。」日商瑞環業務總監三宅光也向本刊表示。
「多年來，台積電已養出兆聯、華漢等製程用再生水回收好幫手，這些協力廠對施工、不同化學品所需的管線材質十分熟悉，與台積電關係非常緊密。」山林水總經理吳人傑向本刊提出他的觀察，他並進一步指出，山林水以處理民生廢水回收為主，日前標下高雄楠梓再生水廠BTO案後，預計2028年透過南科管理局轉供給台積電利用。
「不過，我們（山林水）的民生廢水回收後，若要進入晶圓製程使用，還得經過數10道程序；此時，就得借重製程用水系統廠商來處理。」吳人傑一邊描述半導體再生水的利用流程，一邊點出兆聯等製程用再生水回收業者的重要性。
吳人傑認為，台積電海外大擴廠，這類業者（系統廠）因在建廠之初就導入施作，自然容易跟著把服務整廠輸出到海外，成為台積電海外建廠受益者。
業界人士指出，一般工業用水可區分前段的超純水、中段製程的回收水、末段的廢水處理，而半導體從鋁製程、銅製程發展到最先進的鈷製程，在中段製程的回收難度大幅拉高。
除了兆聯等業者，分析師余佩儒也點名，信紘科、友達旗下的友達宇沛，也正從既有廠務衍生新事業卡位再生水處理服務。
據了解，廠務設備起家的信紘科，早從2012年就與台積電展開合作，透過二氧化碳與氨氣等機能水清洗設備的開發，取代過去有危害物質如N-甲基吡咯烷酮（NMP）的清洗方式，並取得台積電認證，今年也隨之一起在日本設置辦事處，滿足客戶綠色製程需求。
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