水情吃緊　半導體廠戒備力求生產不受影響

水情吃緊，半導體製造廠無不高度戒備，不僅加強節水、提升用水回收率，並備妥水車或已啟動水車載水，預先做好相關規劃，只求生產不受影響。

▲面對缺水問題，面板廠也在平日即採取利己且符合環保趨勢的節水措施。（圖／中央社）

隨著部分工業戶節水率自25日起提高至11%，產能滿載的晶圓代工與記憶體廠對於水情的警戒紛紛向上提升，繼台積電北、中、南部分廠區日前已開始執行以水車少量載水外，聯電竹科廠也跟進啟動水車載水。

台積電強調，並不是所有廠區都啟動水車載水，僅是部分廠區執行，且屬少量載水；一方面提高用水彈性，同時藉以熟悉相關作業程序，預先做好規劃。

聯電表示，水車載水除填補小缺口外，主要是考量水情嚴峻，先試行水車載水。據統計，25日出動不到10 輛水車載水。

力積電與華邦電雖尚未啟動水車載水，不過，皆已密切監控水情狀況，並備妥水車，一旦有需要便可啟動載水應急。

華邦電指出，經過多年不斷努力，至2019年全廠用水回收率約82%，製程水回收率約91%。因應當前水情吃緊情況，將進一步提升製程用水回收率，並減少廠內生活用水及景觀澆灌，降低全廠用水需求。

台積電一滴水使用3.5次，令各界印象深刻，2019年總回收水量達1.33億公噸，平均製程用水回收率約86.7%。台積電訂定的節水緊急應變計畫，還包含廚房節水、停止自動澆灌系統、暫停外牆清洗、民生及廁所用水減壓供應、暫停消防訓練用水，並在不影響生產下，延長純水及回收系統再生時間。

為降低自來水用水量，台積電積極承諾並使用工業廢水與民生汙水的再生水，2015年開始發展再生水技術，於2016年打造全國第1條半導體工業再生水試產線，回收處理工業放流水。

台積電2020年啟動南科再生水廠建廠工程，為台灣第1座民營再生水廠，預計今年3月完成主體建築，隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校，致力產出優於進水品質要求的再生水，成為全球第1個導入工業再生水的先進晶圓廠。

為確保生產不受影響，半導體製造廠已紛紛擬妥應變措施，並依水情變化執行。業者表示，最終還是希望水情能夠早日緩解。

面對缺水問題，面板廠也在平日即採取利己且符合環保趨勢的節水措施。友達光電指出，為做好廢水回收再利用，龍潭廠2015年底已做到100%回收，至於其他廠區回收率高低不一，部分廠區回收率達90%以上。

友達表示，為避免缺水，除平日的雨水儲留外，系統循環等廢水再利用方式也已推展很久，不僅工程用水，生活用水也積極省水。

友達說，未缺水時已有專人在做水資源回收工作，各廠區有儲水池，透過不同時段運用，可應付缺水問題，一滴水甚至可使用高達11次；另外，子公司宇沛永續專門處理水資源循環業務，朝循環經濟產業化發展。

面對水資源挑戰，群創光電分析水資源風險衝擊與營運持續規劃，聚焦節水及回收再利用，導入i-FM管理系統，精進水資源管理效率，更有效因應缺水危機，

群創指出，2019年節水專案已增設活性污泥膜濾設備（MBR），提高廢水回收量，藉由放流水導電度提高回收量。在生物廢水回收工程方面，採用回收水系統砂濾單元逆洗水改管，進行回收循環再利用，並增設水質監控及管路回收生物廢水。